Schallemissionsanalyse zur Schadensevaluierung von strukturierten Metall-Dielektrika-Schichtstapeln in Mikrochips
O. Köchel1, J. Silomon2, M. Stephan1, A. Clausner1, E. Zschech1, L. Schubert1
1: Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme (IKTS), Dresden
2: Volkswagen AG, Wolfsburg